随着物联网、移动互联网等新兴产业的快速发展,微传感器市场也在快速增长。
微传感器由传感器元件、信号调节电路、控制器(或处理器)组成,具有数据采集、转换、分析甚至决策功能。智能化可以提高传感器的精度,降低功耗和体积,实现更容易上网,扩大传感器的应用范围,使其发展更快更有效。
![液压气压压力传感器变送器LP-9S 液压气压压力传感器变送器LP-9S](https://www.ligentcn.com/uploads/ueditor/20201013/1-201013092632560.jpg)
与物理传感器芯片不同的传感器芯片,它涉及化学、材料、自动化、精密仪器、电子、半导体制造、软件和算法等多个学科,制造困难,工艺流程复杂。目前市售的气体传感器一般基于单晶硅材料,MOS金属氧化物是气体敏感材料。气体敏感材料暴露在被测气体中时,气体与其发挥作用,引起电导率和电阻率的变化,产生含有气体成分和浓度的电信号。经过信号处理电路处理,可以识别气体的成分和浓度。金属氧化物半导体气敏传感器采用微电子成膜技术,在硅基沉积金属氧化物敏感层,利用敏感层下的阻力作为加热器,利用二极管作为温度测量元件,所需的信号电路和读取电路也可以集成到同一个硅芯片上。微型气体敏感器的特点是:加热电极、绝缘层和测试电极层。
随着技术水平的提高,市场对小型、低功耗、智能化、模块化气体传感器的需求越来越大,特别是在物联网等广泛应用的推动下,微型智能传感器的应用空间也越来越大。基于传感器技术的半导体敏感材料(MOS)气体传感器开始广泛应用于智能家电、智能家居、移动安装、物联网环境监测、建筑控制、医疗健康早期筛查等气体检测领域。
长期以来,气体传感器在物联网的发展中发挥着重要作用。燃气传感器出现在采暖、通风和空调(HVAC)系统、空气净化器、智能窗、汽车、医疗器械、大气环境监测、石油化工等行业。丝印技术为气体传感器的小型化打开了大门,使这些微型气体传感器能够集成到智能手机和可穿戴设备等消费电子产品中。未来,增加功能密度和精度将成为微传感器的重要驱动因素,为更多应用场景带来可预测的价值!
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